芯片半导体领域

艾尔佳净芯(CleanCore)系列产品，为半导体生产提供超净环境

芯片半导体领域的解决方案

半导体的微污染带来严峻的挑战

半导体行业产品集成电路的制造工序复杂繁多，工艺复杂，技术难度极高，有一系列的关键技术难点、工艺必须在恒温恒湿、超洁净的环境中完成，集成电路对生产环境空气的洁净度有着严苛的要求，同时AMC已成为集成电路制造工艺中最为关注的污染问题，其控制好坏将直接影响产品良率问题。
颗粒物的影响：
导致电路故障，灰尘颗粒物附着在晶圆表面，引发短路等电路故障，导致集成电路的功能受损
降低电性能，过多的颗粒物会导致半导体产品的电性能降低，如灰指数升高等，严重时甚至会导致产品失效
降低生产洁净度，如1立方米空气中直径大于0.1微米的尘埃不能超过100个
生产效率降低，颗粒物附着在生产设备上导致精度生产设备精度下降，需要平凡维护保养
AMC气态分子物的影响：
导致光阻层表面硬化T型缺陷
酸性气体、碱性气体、有机物、难熔性有机物和掺杂性有机物之间产生不必要的化学反应
导致不能控制蚀刻速度，邻苯二甲酸二丁酯（DOP）易附着于晶片表面形成碳化硅SiC。
引起阈值电压改变，硼元素（B2O3）、BF3等气态污染物会引起晶片表面污染
污染物气体如HF、HCl、H3PO4、Cl2、NOX、SOX等，引起晶片表面污染，导致金属化制程中金属附着力

艾尔佳微电子半导体定制化空气过滤解决方案

艾尔佳净科(CleanScience)系列空气过滤器，涵盖灰尘预滤器、HEPA及ULPA过滤器，以及AMC控制解决方案，旨在有效减少洁净室内颗粒与气态化学污染物的含量，实现灰尘浓度达到ISO 1级标准，并将AMC浓度控制在ppb级别以下
艾尔佳和半导体厂家合作，共同推进纳米高效过滤器在微电子厂房空调箱高效过滤的应用。经过实际应用验证，空调箱末端所输送的新风清洁度相较于以往产品，有了显著提高。同时阻力相较以往产品降低了20%以上，使用能耗明显降低。大大增加了末端过滤器的超长使用寿命，进一步降低了停产维护成本。
为微电子半导体制程工艺量身定制的有效AMC气态污染物处理方案，显著降低了制程中产品质量缺陷的发生率。